半導(dǎo)體領(lǐng)域:占比 28%,用于晶圓制造的金屬互聯(lián)層與鈍化層沉積,在第三代半導(dǎo)體器件制造中的滲透率持續(xù)攀升,如氮化鎵功率器件就需要使用銦靶。
良好的導(dǎo)電性:ITO 薄膜的電阻率可達(dá) 10??Ω?cm,具有較低的電阻和較高的載流子濃度,能夠有效地傳輸電流,滿足各種電子設(shè)備的導(dǎo)電需求。
粉末冶金法:將銦氧化物和錫氧化物粉末均勻混合,隨后進(jìn)行預(yù)燒結(jié),以獲得初步的靶材結(jié)構(gòu)。預(yù)燒結(jié)步驟通常在相對低溫下進(jìn)行,目的是通過部分熔融促進(jìn)粉末顆粒的結(jié)合,同時防止過早的晶粒長大。粉體粒徑分布的控制是該方法中的關(guān)鍵一環(huán)。
半導(dǎo)體與電子工業(yè)(占比約 25%):
焊料與封裝:利用銦的低熔點(diǎn)和延展性,作為半導(dǎo)體芯片的焊接材料(如倒裝焊、熱沉連接),可適應(yīng)精密器件的高溫穩(wěn)定性需求。
化合物半導(dǎo)體:與鎵、砷等元素合成 InGaAs、InP 等化合物,用于 5G 芯片、激光器、探測器(如紅外成像器件)。