從化學(xué)角度看,ITO是一種復(fù)合氧化物,其性能很大程度上取決于氧化銦和氧化錫的比例。氧化銦提供高透明度,而氧化錫的摻雜則增強(qiáng)了材料的導(dǎo)電性。通過控制這兩者的配比,ITO能夠在保持光學(xué)透明的同時,具備接近金屬的導(dǎo)電能力。這種“透明卻導(dǎo)電”的特性,使得ITO成為制造透明導(dǎo)電膜的理想選擇。
ITO靶材的核心用途是在磁控濺射工藝中作為“濺射源”。磁控濺射是一種常見的薄膜沉積技術(shù),通過高能離子轟擊靶材表面,使靶材原子被“敲擊”出來,終沉積在基板上,形成一層均勻的ITO薄膜。這層薄膜厚度通常在幾十到幾百納米之間,卻能同時實現(xiàn)導(dǎo)電和透光的功能。
銦回收具有重要的環(huán)保和經(jīng)濟(jì)效益。通過回收廢舊靶材中的銦,可以減少對新資源的開采,降低環(huán)境污染,實現(xiàn)資源的可持續(xù)利用。此外,回收銦還能穩(wěn)定市場供應(yīng),降低生產(chǎn)成本,促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展。
ITO(Indium Tin Oxide,氧化銦錫)靶材是一種廣泛用于透明導(dǎo)電薄膜材料制備的復(fù)合氧化物材料,其主要成分為氧化銦(In?O?)和氧化錫(SnO?)。通常,ITO靶材中氧化銦與氧化錫的質(zhì)量比例為90:10,這一比例在實際應(yīng)用中表現(xiàn)出較為理想的光電特性,使其在透明導(dǎo)電薄膜中廣泛應(yīng)用。