ITO靶材的核心用途是在磁控濺射工藝中作為“濺射源”。磁控濺射是一種常見(jiàn)的薄膜沉積技術(shù),通過(guò)高能離子轟擊靶材表面,使靶材原子被“敲擊”出來(lái),終沉積在基板上,形成一層均勻的ITO薄膜。這層薄膜厚度通常在幾十到幾百納米之間,卻能同時(shí)實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電和透光的功能。
制造ITO靶材是一項(xiàng)技術(shù)密集型的工作,涉及從原料配比到成型加工的多個(gè)環(huán)節(jié)。高質(zhì)量的ITO靶材需要具備高密度、均勻性和穩(wěn)定性,而這些要求背后隱藏著復(fù)雜的工藝和諸多挑戰(zhàn)。
隨著高科技產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,稀有金屬銦的需求日益增長(zhǎng)。銦靶材與ITO靶材作為關(guān)鍵材料,在電子、光電及半導(dǎo)體等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。本文旨在探討銦靶材與ITO靶材的區(qū)別,以及它們?cè)诨厥占夹g(shù)、環(huán)保與經(jīng)濟(jì)效益方面的差異。
技術(shù)破局:從粗放走向精純
現(xiàn)代銦回收工藝已形成精細(xì)鏈條:
預(yù)處理與富集:機(jī)械破碎液晶屏 → 高溫焚燒去除有機(jī)物 → 酸溶浸出(常用硫酸/鹽酸),將銦等金屬轉(zhuǎn)入溶液。
深度分離提純(核心技術(shù)):
溶劑萃取法:利用特定有機(jī)溶劑(如P204)選擇性“捕獲”溶液中的銦離子,實(shí)現(xiàn)與鐵、鋅、錫等雜質(zhì)的深度分離,富集倍數(shù)可達(dá)千倍。
離子交換法:功能樹(shù)脂吸附銦離子,適用于低濃度溶液提純。
電解沉積:對(duì)富銦溶液通電,在陰極析出粗銦。
高純精煉:對(duì)粗銦進(jìn)行真空蒸餾、區(qū)域熔煉等,去除微量雜質(zhì)(如鎘、鉛),產(chǎn)出純度高達(dá)99.99%(4N)以上的精銦,滿足高端ITO靶材要求。
綠色升級(jí):循環(huán)經(jīng)濟(jì)的必由之路
相比開(kāi)采原生礦(主要來(lái)自鋅冶煉副產(chǎn)品),從電子垃圾中回收銦具有顯著優(yōu)勢(shì):
資源保障:1噸廢棄液晶面板可提取200-300克銦,品位遠(yuǎn)超原礦。
節(jié)能減排:回收能耗僅為原生銦生產(chǎn)的1/3,大幅降低碳排放。
環(huán)境友好:減少電子垃圾填埋污染,避免采礦生態(tài)破壞。
經(jīng)濟(jì)可行:銦價(jià)高企(曾超1000美元/公斤)賦予回收強(qiáng)勁動(dòng)力。