從物理性質(zhì)上看,ITO靶材具有以下幾個(gè)顯著特點(diǎn):
高透明度:在可見(jiàn)光范圍內(nèi)(波長(zhǎng)400-700納米),ITO薄膜的透光率可高達(dá)90%以上,幾乎與普通玻璃相當(dāng)。
優(yōu)異導(dǎo)電性:其電阻率通常在10??歐姆·厘米的量級(jí),遠(yuǎn)低于大多數(shù)透明材料。
化學(xué)穩(wěn)定性:在常溫下,ITO對(duì)水、氧氣等環(huán)境因素表現(xiàn)出良好的抗腐蝕能力。
機(jī)械耐久性:ITO薄膜具備一定的硬度和耐磨性,能夠應(yīng)對(duì)日常使用中的輕微刮擦。
這些特性讓ITO靶材在實(shí)際應(yīng)用中游刃有余,尤其是在需要兼顧光學(xué)和電學(xué)性能的場(chǎng)景中。
制備完成后,ITO靶材在實(shí)際應(yīng)用中還會(huì)遇到一些問(wèn)題:
濺射不均勻:如果靶材內(nèi)部存在微小缺陷或成分偏差,濺射過(guò)程中可能出現(xiàn)局部過(guò)熱,導(dǎo)致薄膜厚度不一致。
靶材破裂:在高功率濺射時(shí),靶材承受的熱應(yīng)力可能超出其極限,造成破裂,進(jìn)而影響生產(chǎn)線(xiàn)的連續(xù)性。
資源限制:ITO靶材依賴(lài)銦這種稀有金屬,而銦的全球儲(chǔ)量有限,價(jià)格波動(dòng)較大。這不僅推高了成本,也促使業(yè)界尋找替代方案。
區(qū)別對(duì)比
?成分差異:銦靶材為純金屬銦制成,而ITO靶材則是銦錫氧化物的復(fù)合物。
?用途不同:銦靶材主要用于需要高導(dǎo)電性和延展性的領(lǐng)域,如航空航天部件;ITO靶材則因其透明導(dǎo)電性廣泛應(yīng)用于光電顯示領(lǐng)域。
?性能特點(diǎn):銦靶材更側(cè)重于導(dǎo)電性和機(jī)械強(qiáng)度,而ITO靶材則兼顧導(dǎo)電性和光學(xué)透明性。
在智能手機(jī)、平板電腦、超清電視的光滑屏幕背后,ITO靶材(氧化銦錫)是賦予其透明導(dǎo)電魔力的核心材料。作為ITO靶材的關(guān)鍵成分,銦(In)的穩(wěn)定供應(yīng)直接關(guān)系到全球萬(wàn)億級(jí)顯示產(chǎn)業(yè)的命脈。然而,這種稀散金屬的地緣分布不均(中國(guó)儲(chǔ)量占全球70%以上)和原生礦產(chǎn)的有限性,使得銦的回收再利用不再是環(huán)保課題,更成為保障產(chǎn)業(yè)、實(shí)現(xiàn)供應(yīng)鏈韌性的“閉環(huán)”革命。